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SEMI F57认证


什么是SEMI F57认证?

SEMI F57 是半导体行业聚合物材料及其组件系统,从材料选择、生产过程、产品结构设计等方方面面进行规范和建议的文件,主要用于超纯水和液态化学品输送系统或者组件的评价。

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为什么要做SEMI F57认证?

半导体先进制程要求工艺使用的超纯水,超纯化学品的纯度越来越高,污染物水平越来越低,用于超纯水,超纯化学品运输和储藏的系统和部件不能带入污染。虽然在超纯水与化学品的质量都有相对应的标准与规范,大部分都是末端标准,对其各个组件的制造商来说,是无法直接应用的。目前在SEMI系列规范中,SEMI F57是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方面进行规范和建议的文件,让超纯水和湿化学品输送系统材料的适用性评估有所参考依据。


SEMI F57可以测试的产品品类:


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需要进行纯度测试的材料和部件


SEMI F57 测试需要测试产品的4类参数:


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SEMI F57测试参数类型


测试阴离子,金属离子,和总有机碳的液体提取方法如下(根据SEMI F40):


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测试阴离子,金属离子,和总有机碳的液体提取方法如下(根据SEMI F40):

1、认证的浸泡液仅是超纯水,摸底测试出测试报告,其能力如下:


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2、制样要求

1)接触液体体积大于200mL

2)直径要求:≤20mm

3)长度要求:根据直径调整,使得内壁接触液体体积V≥200mL

计算公式:长度L=V(体积)/(πD)

3、表面粗糙度取样要求

1)用和产品相同制样方法制取平整样品,不能有翘曲;

2)样品尺寸:最小 3x3mm,测中心以及边缘两个点咨询电话:13816144967(微信同号)


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